(005490) POSCO - 포스코 '아르헨 리튬호수 대박'…3100억에 사서 35조 됐다
中 리튬 현물가격 급등 영향
아르헨티나 리튬 데모플랜트 전경. 포스코 제공.
포스코가2018년 인수한 아르헨티나의 리튬 호수의 가치가100배 넘게 오른 것으로 추산되고 있다. 인수 때 예측보다 리튬 매장량이 많았고, 리튬의 시세 급등하면 서다.
3일 포스코와 산업계에 따르면2018년 포스코가3100억원에 인수한 아르헨티나 옴브레무에르토 리튬 염호(소금호수)의 가치는 현재35조원으로 추산되고 있다. 약113배나 가치가 커진 것이다.
중국 탄산리튬 현물 가격은 지난해 7월 t당5000달러에서 올해 2월 t당 1만1000달러로 배 이상 올랐다.
또 지난해 말 호수의 리튬 매장량이1350만t에 달하는 것으로 확인됐다. 인수 때는220만t 정도로 추산했다. 예상보다 6배가량 많았던 셈이다. 이는 전기차 약 3억7000만 대를 생산할 수 있는 수준이다. 포스코 관계자는 "현재 중국을 포함해 전 세계적으로 전기차 시장이 성장하고 있어 전기차 배터리의 필수 소재인 리튬 가격은 계속 상승할 것으로 전망된다"고 말했다.
포스코는 리튬 이외에도 이차전지를 구성하는 양극재 핵심 원료인 니켈 투자도 적극적으로 추진하고 있다.
니켈은 리튬과 함께 배터리의 성능과 직결되는 주요 소재다. 포스코는 폐배터리를 활용한 리사이클링(재활용) 사업과 호주 등 니켈 광산 투자를 통해 배터리용 니켈 공급을 자체적으로 확보한다는 계획이다.
3,100억에 샀는데 113배 대박...포스코 '미소'
포스코는 최근 리튬 가격이 2배 이상 오르면서 지난2018년 인수한 아르헨티나 '옴브레 무에르토(HombreMuerto)' 리튬 염호의 가치가35조원에 달할 것으로 전망했다.
3일 포스코에 따르면 중국 탄산 리튬 현물 가격은 지난해 7월 톤당5000달러에서 지난달 톤당 1만1000달러를 넘어서며 2배 이상으로 급등했다. 이에 포스코가 보유한 아르헨티나 리튬 염호의 가치가 급등한 것이다.
포스코는2018년 8월 호주의 갤럭시리소시스로부터 면적 1만7500ha의 아르헨티나 염호를 2억8000만달러(약3100억원)에 인수하는 계약을 체결한 바 있다.
포스코는 지난해 말 염호의 리튬 매장량이 인수 당시 추산한220만톤 보다 6배 늘어난1350만톤임을 확인했다. 리튬 매장량 검증은 업계 최고 수준의 글로벌 염수리튬 전문 컨설팅 업체인 미국의 몽고메리(Montgomery&Associates)가 국제 공인 규정에 따라 수행했다. 이는 전기차 약 3억7000만대를 생산할 수 있는 수준이다.
현재 중국을 포함해 전세계적으로 전기차 시장이 성장하고 있어 전기차 배터리의 필수 소재인 리튬 가격은 계속해서 상승할 것으로 전망되고 있다.
포스코는 리튬 이외에도 이차전지를 구성하는 양극재 핵심 원료인 니켈 투자도 적극적으로 추진하고 있다. 니켈은 리튬과 함께 배터리의 성능과 직결되는 소재다. 포스코는 폐배터리를 활용한 리사이클링(재활용) 사업과 호주 등 니켈 광산 투자를 통해 배터리용 니켈 공급을 자체적으로 확보한다는 계획이다.
이와 함께 현재 전량 중국에 의존하고 있는 음극재 원료인 흑연의 수급 다변화를 위해 아프리카 탄자니아 흑연광산을 보유한 호주 광산업체 블랙록마이닝 지분15%를 지난달 인수 완료했다.
한편2030년까지 포스코는 이차전지소재의 원료인 리튬, 니켈, 흑연 등의 자체 공급체계를 만들고, 포스코케미칼은 이를 원료로 양극재40만 톤, 음극재26만 톤 생산체제를 구축할 계획이다. 이를 통해 포스코그룹은 전 세계에서 유일하게 원료에서부터 이차전지소재까지 생산하는 소재 밸류체인을 완성한다는 계획이다．
정의선 현대차그룹 회장(왼쪽)과 최태원SK그룹 회장(오른쪽)이SK인천석유화학에서 열린 제3차 수소경제위원회에 참석하고 있다.
재계 2, 3위로 미래 성장동력인 수소 사업에 적극 투자하고 있는 두 그룹이 사업 시너지를 낼 수 있는 협력 분야를 적극적으로 모색하고 나서면서 수소 생태계 구축이 한층 빨라질 수 있을 것이라는 전망이 나오고 있다.
정 회장과 최 회장은 2일SK인천석유화학에서 정세균 국무총리 주재로 열린 제3차 수소경제위원회 참석에 앞서 양 그룹 경영진이 참석한 가운데 간담회를 갖고 수소 생태계 확대 방안을 논의했다.
현대차그룹 측에서는 정 회장을 비롯해 공영운 현대차 사장, 장재훈 현대차 사장, 조성환 현대모비스 사장, 김세훈 현대차 부사장 등이 참석했고,SK그룹 측에서는 최 회장을 비롯해 장동현SK㈜ 사장, 추형욱SKE&S사장, 최윤석SK인천석유화학 사장 등이 참석했다.
이 자리에서 양 그룹은 수소가 지속 가능한 사회를 구현하기 위한 탄소 중립 달성의 필수적인 요소라는데 공감하고, 수소전기차 보급을 확대하기 위해 다양한 비즈니스 모델 발굴에 나서기로 했다.
정 회장과 최 회장의 이날 회동으로 최근 전기차용 배터리 사업에서 협력 관계를 강화하고 있는 두 그룹의 수소사업 파트너십에 대한 기대감도 커지고 있다.
수소경제위원회 참석하는 정의선·최태원 회장
정의선 현대차그룹 회장(왼쪽)과 최태원SK그룹 회장(왼쪽 세 번째)이 SK인천석유화학에서 열린 제3차 수소경제위원회에 참석하고 있다.
우선SK그룹 사업장에서 운영 중인 차량 1천500여대를 현대차가 생산한 수소전기차로 점차 전환하기로 하고, 수소카고트럭(2022년)과 수소트랙터(2024년) 등 수소상용차를 현대차그룹이 제공하고SK그룹이 활용하는 방안 등을 협의했다.
수소와 초고속 전기차 충전 인프라 구축에도 힘을 모으기로 했다. 올해 말까지 인천·울산 지역의 물류 서비스 거점인SK내트럭하우스에 상용차용 수소충전소를 1기씩 설치하고 전국SK주유소 등에 수소 충전소와 전기차 급속 충전기(200kW급)를 설치하기 위한 구체적인 협력 방안도 논의할 예정이다.
양 그룹은 포스코그룹과 함께 국내 기업간 수소 사업 협력을 위한 최고경영자(CEO) 협의체인 '한국판 수소위원회(K-HydrogenCouncil)' 설립을 상반기 중 추진할 계획이다. 한국판 수소위원회는 국내 기업의 수소 사업 역량 강화와 사업 영역 확대 등을 통해 진정한 수소사회 구현을 견인하기 위한 다양한 역할을 할 것으로 기대된다.
인천시 수소산업 기반구축MOU서 기념 촬영하는 정세균 총리
정세균 국무총리(가운데)가SK인천석유화학에서 열린 인천시 수소산업 기반구축MOU에서 정의선 현대차그룹 회장(왼쪽 세 번째)과 최태원SK그룹 회장(왼쪽 다섯 번째) 등 참석자들과 기념 촬영하고 있다.
현대차그룹은 현대차·기아의 전기차 전용 플랫폼E-GMP의 1차 배터리 공급사로SK이노베이션을 선정하는 등SK그룹과 친환경차 분야에서 긴밀한 협력을 이어오고 있으며, 이번 수소 사업 협력을 통해 친환경 분야 사업 역량을 더욱 강화하고, 탈탄소 시대를 열겠다는 목표다.
현대차그룹은2013년 세계 최초의 수소전기차 양산을 시작으로 글로벌 수소 시장을 선도하고 있으며,2030년까지 연간 수소전기차50만대, 수소연료전지 시스템70만 기를 생산하겠다는 목표를 밝힌 바 있다.
정 회장은 "수소는 에너지원일 뿐만 아니라 에너지의 저장체로도 활용할 수 있어 탄소 중립 시대의 '에너지 화폐' 역할을 수행할 것"이라며 "SK그룹과의 협력을 통해 수소의 생산, 유통, 활용이 유기적으로 이뤄지는 건전한 수소 생태계를 구축하고, 성공적인 에너지 전환을 통한 수소 사회의 실현을 한 발 앞당길 것"이라고 말했다.
최 회장은 "SK는 수소의 생산과 유통, 소비까지 수소 밸류체인(가치사슬) 전반을 구축하고 수소차 제조 기술을 보유한 현대차가 수소차를 적기에 공급하는 등 양사의 협력 체계를 통해 국내 수소경제가 빠르게 성장할 것으로 기대한다"고 말했다.
액화수소사업 예정지 방문한 정세균 총리와 정의선·최태원 회장
정세균 국무총리가SK인천석유화학 액화수소사업 예정지를 방문해 정의선 현대차그룹 회장(왼쪽), 최태원SK그룹 회장(오른쪽)과 액화수소플랜트 추진 현황을 보고 받고 있다
한편 최 회장은 이날 수소경제위에서SK그룹이 국내 수소 생태계 구축을 위해 5년간18조5천억원을 투자하는 내용의 계획을 발표했다.
1단계로2023년까지 인천시의 '바이오∙부생 수소 생산 클러스터 구축 사업'과 연계해 세계 최대 규모인 액화 수소 3만t을 공급하고, 2단계로2025년까지 이산화탄소를 제거한 청정수소25만t을 추가 생산해 글로벌 1위의 친환경 수소 기업을 달성한다는 계획이다.
1단계로 생산하는 액화수소 3만t은 수소 승용차인 넥쏘 7만5천대가 동시에 지구 한바퀴를 도는데 필요한 양으로 나무 1천200만그루를 심는 것과 동일한 탄소 저감 효과를 갖는다.
이를 통해20만9천명의 고용 유발 효과와 사회·경제적 편익34조1천억원을 창출할 것으로 기대하고 있다.
SKE&S는 5천억원을 투자해2023년까지 액화수소 생산기지를 건설하고2025년까지 5조3천억원을 투자해 천연가스(LNG)에서 친환경 수소를 생산하는 세계 최대 청정 수소 생산기지를 완공할 계획이다. 이산화탄소 포집·처리 기술을 활용해 연간25만t 규모의 청정 수소를 단일 생산기지에서 생산하는 계획은 현재 유일하다고SK측은 전했다.
SK는 국내에서 연간 총28만t의 친환경 수소를 생산·공급하고 이를 활용해 중국과 베트남 등 아시아 수소 사업도 본격적으로 추진할 예정이다.
또2025년까지 전국에 수소충전소100곳을 운영해 연간 8만t 규모의 액화 수소를 공급하고400메가와트(MW) 규모의 연료전지발전소를 건설해 연간20만t의 수소를 전용 파이프라인을 통해 공급할 계획이다. 이를 위해 서울시와도 액화 수소 충전소 구축, 수소 체험관 건립 등의 협력 방안을 논의하고 있다.
최 회장은 "수소는 기후에 영향을 받지 않고 생산에 소요되는 부지 면적이 작아 국내 환경에 적합한 친환경 에너지"라며 "대한민국이2050탄소중립 실현은 물론, 수소산업이 세계 1위의 경쟁력을 확보하고 경제성장에 크게 이바지 할 수 있도록 최선을 다하겠다"고 밝혔다.
양 그룹은 인천시, 인천서구청과 수소사업 기반 구축을 위한 업무 협약을 맺고, 수소경제위원들과SK인천석유화학 내 수소액화플랜트 예정지와 석유화학 공장 등도 둘러봤다.
기념촬영 하는 정세균 총리와 최태원·정의선 회장
정세균 국무총리(앞줄 가운데)가SK인천석유화학 액화수소사업 예정지를 방문해 최태원SK그룹 회장(오른쪽), 정의선 현대차그룹 회장(왼쪽) 등과 기념 촬영을 하고 있다.
시중 금리 상승으로 증시 제반 환경이 달라질 신호가 나타나자 개인과 외국인 투자자가 각기 다른 전략으로 변화된 시장에 대응하고 있다. 개인은 지난 1년 큰 수익을 안겨준 성장주에 대한 신뢰를 계속 보내고 있는 반면 외국인은 성장주의 밸류에이션이 정점에 이르렀다고 판단하면서 가치주를 담고 있다.
28일 금융투자업계에 따르면 2월 4주차(22~26일) 개인의 순매수 상위 종목에는카카오(035720)(4,838억 원)·LG화학(051910)(4,049억 원)·SK바이오팜(326030)(3,938억 원)·삼성SDI(006400)(3,910억 원) 등 ‘BBIG’로 불리는 성장주가 다수 올랐다. 같은 기간 개인은POSCO(005490)(1,972억 원)·SK하이닉스(000660)(1,692억 원)·롯데케미칼(011170)(1,533억 원)·HMM(011200)(1,368억 원)·신한지주(055550)(973억 원) 등 경기민감주를 대거 팔았다.
개인은 최근 금리 상승으로 경기민감 업종이 상대적으로 우수한 수익률을 나타내자 이들을 현금화시키면서 포트폴리오 속 성장주의 비중은 확대하는 모습이다. 긴축 우려로 당분간 성장주의 부진이 예상되지만 이를 충분히 견딜 가치가 있다고 판단하며 기존 주도주에 대한 매수 강도를 높이고 있는 것이다.20대 개인 투자자 신 모씨는 “금리 상승보다 산업 구조의 변화에 집중한다. 지난해 배터리주로30%가 넘는 수익을 낸 기억이 있어 가치주에 손이 잘 가지 않는 것도 사실”이라며 “연초 받은 성과급으로 최근LG화학을 추가 매수했다”고 말했다.
반면 외국인은 성장주를 차익 실현하면서 운송·통신·금융 섹터 대표 종목을 장바구니에 담고 있다. 지난 한 주동안 외국인은SK바이오팜(6,664억 원)·HMM(1,160억 원)·SK텔레콤(017670)(700억 원)·신한지주(645억 원) 등을 사들였고,LG화학(3,809억 원)·카카오(3,679억 원)·삼성SDI(3,093억 원)는 적극 매도했다. 성장주에 대한 선호도가 후퇴하고 있다는 점을 감안하면서 백신 효과로 경제가 정상화되는 과정에서 수혜를 입을 만한 업종에 관심을 두는 양상이다. 강현기DB금융투자 연구원은 “증시가 혼란한 상황에서 밸류에이션 지표가 과도하지 않고 시장 등락에 영향을 적게 받는 종목을 포트폴리오에 담아야 한다”고 권고했다.
최근 증시가 등락을 거듭하면서 전략에 대한 의견이 증권사 별로 엇갈리고 있다. 하지만 중장기적 상승 추세가 유지되는 만큼 각자의 투자 철학을 지키는 것이 중요하다는 지적이 나온다. 고숭철NH아문디자산운용 주식운용상무는 “금리 많이 올라 시장 전체가 조심스러운 상황”이라면서도 “추세적 상승은 끝나지 않았기 때문에 자신의 주관이 들어간 선택이라면 급등락에 좌우되기보다 시간을 두고 기다리는 게 필요하다”고 강조했다. 이어 “지난해 일부 조정을 받은 헬스케어 업종은 장기적 성장성이 여전하며, 중장기적 안목에서 조정 국면은 자동차 업종에 저가 매수 기회가 될 수 있다”고 말했다.
전기차 배터리 시장이 어느 때보다 뜨겁다. 주요국이 ‘내연기관차 지우기’에 나선 가운데 관련 업계에서도 동참하는 덕분이다. 배터리가 주목받으면서 차세대 제품으로 꼽히는 전고체전지에 대한 관심도 급증하고 있다. 한국과 일본 등 배터리 강국에서는 준비가 한창이다.
업계에 따르면 한국은 삼성SDI, 일본은 도요타를 중심으로 전고체전지 개발에 속도를 내고 있다. 미국 유럽 중국 등도 작업에 돌입했다.
현재 대세는 리튬이온배터리다.
4대 핵심요소 ▲양극 ▲음극 ▲분리막 ▲전해질 등으로 구성된다. 이 가운데 전해질은 리튬이온을 옮기는 역할을 한다. 문제는 안정성이다. 액체 전해질의 온도 변화로 인한 팽창, 외부 충격에 따른 누수 등으로 폭발이 일어날 수 있다. 최근 전기차 화재가 다수 발생한 만큼 업계의 가장 큰 고민이다.
전고체전지는 고체 전해질을 쓴다. 이렇게 되면 구조상 충격, 훼손 등에 강해진다. 전해질이 일부 손상되더라도 배터리가 정상적으로 작동한다는 의미다. 에너지밀도 부분에서도 유리하다. 에너지밀도가 향상되면 주행거리가 늘어난다. 액체 전해질을 사용하기 위해 안정성 물질을 투입하는 데 이를 줄이고 양극 음극을 더 넣을 수 있다. 위험은 낮추고 성능은 높이는 배터리인 셈이다.
전고체전지는 충전 속도도 더 빠르다. 1회 충전에800킬로미터(km) 주행,1000회 이상 재충전이 가능할 전망이다.
업계에서는 일본이 가장 앞선 것으로 보고 있다.10년 이상 연구 중인 도요타는 파나소닉과 손을 잡고 상용화에 다가서고 있다. 해당 사업에18조원 이상을 투자했다. 이들 연합은 전 세계 전고체전지 관련 특허40%를 확보한 상태다. 이르면 연내 전고체전지를 탑재한 차량을 공개할 계획이다.
국내에서는 삼성이 선두주자다. 지난해 3월 삼성종합기술원이 전고체전지 원천기술을 공개했고 삼성SDI는 개발을 가속화하고 있다. 지난해 현대차그룹과 논의를 진행한 데 이어 최근에는 공동으로 선행배터리연구소를 설립할 것이라는 소식도 전해졌다. 상용화까지는 수년이 남은 것으로 예상되지만 이보다 이른 시점에 제품을 내놓기 위해 노력 중이다.
미래컴퍼니 씨아이에스 디에이치 등은 국내 장비사들은 전고체전지 생산라인을 구축하기 위해 힘을 모았다. 3사는 업무협약(MOU)을 맺고 각각 ▲공정 최적화 및 불량 검출 장비 ▲양-음극판 합착 장비 ▲일정 크기로 자르는 장비 등을 개발하고 있다. 장비가 갖춰지면 삼성SDI등 국내 배터리 제조사도 생산라인 확보가 용이해질 전망이다.
중국CATL은 베이징자동차 등 자국 업체와 개발을 시작했다. 폭스바겐은 퀀텀스케이프,BMW는 솔리드파워와 협력하고 있다. 오는2025년 이후 전고체 배터리를 탑재한 전기차를 출시할 계획이다.
배터리 업계 관계자는 “전고체전지가 차세대 배터리로 거듭날지는 아직 확신할 수 없다”면서도 “가능성은 제일 큰 만큼 업체마다 상용화를 위해 많은 노력을 기울일 것”이라고 분석했다.
(051910) LG화학·SK이노베이션 ‘배터리 전쟁 2라운드’ 합의금 3조 vs 1000억...
미국 국제무역위원회(ITC)가 이달 10일(미국 시각) LG에너지솔루션과 SK이노베이션(약칭 SKI)의 전기차 배터리 영업비밀(trade secrets) 침해 소송 최종 판결에서 LG의 손을 들어줬다. SKI의 영업비밀 침해를 인정하고 ‘향후 10년간 SKI의 미국내 배터리 수입·판매 및 유통 전면 금지 결정’을 내린 것이다. ·
이날로부터 60일간의 대통령 판결 검토(presidential review) 기간에 조 바이든 미국 대통령이 거부권을 행사하지 않는다면, 이번 판결은 즉각 발효돼 폭스바겐과 포드와의 계약물량 공급(각 2년, 4년)을 제외한 SKI 제품의 미국내 생산과 수입이 불가능해진다. ·
이런 사태를 막으려면 이 기간 안에 영업비밀 침해 배상금을 포함해 양사가 전면 합의하는 게 유일한 방법이다. 하지만 두 회사는 판결 후 2주일이 지난 25일 현재까지 상당한 입장 차이를 보이며 맞서고 있다.
서울 여의도와 종로에 각각 있는 LG그룹 본사와 SK 본사 건물 모습
LG에너지솔루션(약칭 LGES)은 3조원 이상을 요구하는 반면, SK이노베이션은 1000억원대의 자회사 지분을 제안한 것으로 알려지고 있다. SK의 한 임원은 “지난해 배터리 사업에서 5000억원 적자를 낸 회사에 3조원을 요구하는 것은 ‘배터리 사업을 중단하라는 얘기’나 마찬가지”라며 “사실상 협박하는 LG의 일방적인 요구를 수용할 수 없다”고 말했다.
LG 관계자는 “SK가 사실상 LG의 영업비밀 가치를 1원도 인정하지 않는 조건으로 나오고 있다”며 “30여년간 공들여 쌓은 LG의 영업비밀을 탈취하는 범죄 행위로 수십 조원을 수주한 SK가 가해자로서 잘못을 인정하고 진정성있게 협의에 임하길 바란다”고 말했다. 양사 간의 공방을 5개 키워드를 중심으로 짚어본다.
◇① SK와 LG 주장 무엇이 다른가?
SK이노베이션측은 “3조원의 배상금은 우리가 앞으로 20년 이상 벌어야 하는 돈이다. 아직 손익분기점에 도달하지 못한 우리는 내년(2022년)에야 겨우 소폭 흑자를 낼까말까한 상황”이라고 밝혔다. 따라서 “LG가 태도를 전향적으로 바꾸지 않는다면, 대통령 거부권 시한 종료 후 연방항소법원 항소(抗訴) 같은 카드를 활용해 장기전도 불사하겠다”는 입장이다.
LGES측은 이에 대해 “LG로부터 탈취한 영업비밀을 사용하여 2017년 이후 SKI가 수주한 금액인 약 60조원과 미래 수주 예상금액을 보수적으로 예측해도 수십조원 이상 수주를 할 것으로 판단한다”며 “징벌적 배상액을 제외한 수조원대의 배상액은 합리적인 수준”이라고 맞서고 있다.
미국 국제무역위원회(ITC)가 2021년 2월10일 LG에너지솔루션(과거 LG화학의 배터리 사업 부문)과 SK이노베이션 간의 배터리 영업비밀 침해 소송 관련 최종 판결문 일부로, ITC가 'SK이노베이션 배터리와 부품 등에 대해 미국 내 수입과 판매, 유통, 마케팅 등 10년 금지'를 명령한 내용이다.
미국 연방비밀보호법(DTSA)은 영업기밀을 탈취당한 기업이 가해(加害) 기업의 과거 수주 금액과 향후 수주로 얻을 미래 이익, 그리고 이로 인해 입은 피해 등을 종합해 합의 배상금을 요구할 수 있도록 인정하고 있다.
일각에선 양사가 합의없이 민사소송에 갈 경우, 손해액의 최대 2배까지 부과할 수 있는 징벌적 손해배상액과 변호사 비용 배상이 추가돼 SKI가 9조원 이상을 부담할 수 있다는 관측이 나온다. 글로벌 투자은행 크레디트스위스(Credit Suisse)는 이달 11일자 보고서에서 “양사간의 합의금이 적어도 5조원 이상이 될 것”이라고 밝혔다.
◇② SK는 조 단위 배상 능력 안 되나?
“적자 회사로서 3조원대 배상금은 불가능하다”는 SKI의 주장은 어느 정도 타당할까. 현재 3조원을 투자해 미국 조지아주에 전기차 배터리 공장을 짓고 있는 SKI는 앞으로 최대 6조원까지 투자 규모를 늘리겠다고 공언한 상태이다. 또 2025년 182조원 규모(IHS 마켓 조사 기준)로 성장할 세계 전기차 배터리 시장에서 점유율 10%(약 18조원)를 달성한다는 목표도 세워놓고 있다.
주목되는 것은 두 가지이다. 먼저 1995년부터 배터리 연구개발을 시작한 LG에너지솔루션(약칭 LGES)도 이후 2020년 2분기까지 25년간 연속 적자(赤字)를 내면서 수십조원의 투자를 해왔다. LGES는 지난해(2020년) 처음 배터리 사업 부문에서 흑자를 냈다.
LG와 SK간의 배터리 영업비밀 침해 소송 일지 및 해당 기업 비교
다른 하나는 SK이노베이션이 자회사 지분 매각과 기업 상장(IPO)을 통해 올 상반기에만 5조원 정도 현금을 확보할 수 있다는 점이다. SKI의 자회사인 SK루브리컨츠는 다음달 26일 지분 100% 중 49% 매각을 통해 2조원 안팎의 자금을 확보하며, 다른 계열사인 SK종합화학도 지분 49% 매각을 추진 중인데 여기서 3조원대 현금이 가능하다. 상장예비심사가 진행 중인 SK아이이테크놀로지(SKIET)가 상장하면 최소 1조원의 현금을 마련할 수 있다.
SKI는 올 1월 컨퍼런스콜에서 “올해 상반기 중 윤활기유 사업 지분 매각, 페루 광구 매각 등으로 2조~3조원의 현금성 자산 확보가 가능하다”고 밝혔다.
LG와 합의하려는 ‘의지’만 있다면 ‘자금’은 큰 문제가 안 된다는 게 재계의 대체적인 관측이다. LG 관계자는 “SKI와 배상금액 총액에 대한 합의만 되면 현금, 현물, 로열티, 지분 등 다양한 방식이 가능하며 배상금을 다년(多年)간 분할 지급하는 방안도 수용 가능할 것”이라고 말했다.
◇③ITC의 영업비밀 침해 판결, 다른 합의 사례는?
올해 1월 미국 일리노이주 북부 연방지방법원은 미국 모토로라솔루션의 연구개발(R&D) 직원 3명이 중국 하이테라커뮤니케이션에 이직해 무전기(DMR·Digital Mobile Radio) 관련 영업비밀을 탈취해 손해를 끼친 혐의에 대해 약 4억1000만달러(약 4500억원)의 손해배상 판결을 내렸다.
2018년 38억달러이던 DMR 세계 시장 규모는 2025년 75억달러로 성장이 예상된다. 이 영업비밀 침해 소송에서 미국 해당 법원은 부당이익(1억3500만달러)의 200%에 해당하는 징벌적 손해배상(2억7200만달러)을 적용했다.
익명을 요구한 한 재계 관계자는 “DMR 시장 규모가 전기차 배터리 세계 시장과 비교해 10분의 1에 불과하고 영업비밀을 탈취한 전직(轉職)자도 3명 뿐임을 감안할 때, SK와 LG간의 영업 비밀 침해 보상금액을 가늠해 볼 수 있다”고 말했다. SK는 지금까지 100여명의 LG 인력을 빼내간 것으로 전해진다.
미국 ITC는 2020년 12월16일(현지시간) "대웅제약의 보툴리눔 톡신 제제 '나보타'(미국 제품명 주보)가 불공정 무역관행 제재 규정을 위반한 제품"이라며 '21개월간 미국 내 수입 금지'를 명령하는 최종 판결을 내렸다. 사진은 서울 강남구에 위치한 메디톡스 빌딩과 대웅제약 본사 모습
작년 12월 중순 미국 ITC가 한국 기업인 메디톡스와 대웅제약간 보톡스 소송에서 대웅제약의 영업비밀 침해 판정을 내린 후, 두 회사가 최근 합의한 내용도 눈길을 끈다. 대웅제약의 미국 파트너사 에볼루스는 메디톡스에 현금(3500만달러)과 2032년까지 판매 금액에 대한 로열티 지급, 파트너사인 에볼루스 지분(16.7%) 제공 등으로 합의했다.
바이오제약업계에서는 전체 배상금액 규모를 3000억~4000억원으로 추정한다. 이에 따라 대웅제약의 미국내 제품 판매도 곧 재개된다. 특히 대웅제약의 파트너사인 에볼루스는 2019년 996억원 적자, 2020년 3분기까지 577억원의 적자를 냈다. ITC가 명령한 수입 금지 기간(21개월)이 짧은데도 에볼루스가 이렇게 합의한 것은, 미래 수익 창출이 훨씬 더 중요하다는 판단에 따른 것으로 알려졌다. 보톡스 세계 시장 규모는 전기차 배터리 시장의 10% 수준이다.
◇④ 바이든 대통령 거부권 행사할까?
SK이노베이션이 기대하는 반전(反轉) 카드 중 하나는 조 바이든(Joe Biden) 대통령이 ITC 최종 판결에 거부권을 행사하는 경우이다. 이렇게 되면 ITC가 결정한 수입 금지 조치가 해제돼 SK로선 큰 호재(好材)가 된다.
통계적으로 봤을 때 그 가능성은 낮다. 1916년 ITC 설립후 ‘영업비밀 침해’ 건에 대해 미국 대통령이 거부권을 쓴 사례가 전무(全無)하기 때문이다. SK 관계자는 그러나 “전기차 배터리가 친(親)환경을 중시하는 바이든 정부에서 국가 전략 품목으로 거론되는데다가, SK의 조지아 배터리 공장이 문 닫으면 다른 대안이 없기 때문에 거부권이 행사될 가능성이 있다”고 말했다.
전기차 배터리 공급을 다른 국가에 의존하지 않고 일자리 창출 등을 위해 미국 연방 정부와 조지아주 정부는 현지 배터리 제조공장을 최대한 늘리고 지키려 하고 있다.
조 바이든 미국 대통령이 2021년 2월19일(현지시간) 미국 미시간주 캘러머주에 있는 화이자의 신종 코로나바이러스 감염증(코로나19) 백신 공장을 둘러본 뒤 연설하고 있다.
하지만 영국의 유력 일간지 파이낸셜타임즈(FT)는 이달 16일 바이든 대통령의 거부권 행사 가능성과 관련, “ITC 판결을 뒤집기 위한 근거는 희박하다”며 “SK이노베이션이 만약 조지아주 공장에 투자를 지속할 수 없다면, 해당 공장에 새로운 투자자를 찾을 수 있을 것”이라고 밝혔다.
FT는 또 “(SK가 주장하는) 2600개의 일자리가 아직 만들어진 것도 아니고 현재까지 창출된 일자리는 300여개에 불과하다”고 덧붙였다.
손승우 중앙대 교수(산업보안학)는 “ITC가 폭스바겐과 포드 등 미국 내 공장에서 공급하는 경우에 한해 ‘공익(public)’을 명분으로 SKI에 각각 2년, 4년 동안 배터리를 공급할 수 있는 유예기간을 주었기 때문에 대통령이 다시 공익을 이유로 거부권을 행사할 가능성은 더 낮아진 것으로 보인다”고 말했다.
◇➄ 시간은··LG와 SK, 어느 쪽 편인가?
바이든 대통령이 거부권을 행사하지 않아 ITC 판결 효력이 발생하면, SK이노베이션은 연방고등법원에 항소한다는 방침이다. 연방고등법원 판결이 나온 뒤 델라웨어 연방법원 민사 소송으로 넘어가는데, 이 과정만 짧으면 1년, 길면 2~3년으로 예상된다.
SK 관계자는 “LG측에서 ‘(혐의를) 인정하고 성실하게 협상에 나서라’고 하지만 혐의를 인정하는 순간 범죄 기업으로 낙인이 찍힌다”며 “LG의 주장을 그대로 받아들일 수는 없다”고 했다.
미국 조지아주 잭슨카운티 커머스시에서 SK이노베이션 전기차 배터리 생산공장 착공식 모습
그러나 항소에서 패소한다면, 델라웨어 민사 소송에서 징벌적 손해배상액과 법정 소송 비용까지 추가돼 SK가 내야할 배상금이 7조~8조원 이상으로 불어나게 된다. 2010년 이후 ITC 최종 판결에서 수입금지 명령이 내려진 영업비밀 침해 소송은 총 6건이다. 이 중 판결에 불복해 항소를 진행한 5건 가운데 결과가 뒤집힌 사례는 한 건도 없다.
LG에너지솔루션 직원들이 미국 미시간주 홀랜드 공장에서 전기차 배터리 셀을 검사하고 있다.
업계 관계자들은 “글로벌 완성차 업체들이 소송 장기화를 빌미로 SKI에 대한 공급사 계약을 바꿀 수 있다”며 “합의가 이뤄지지 않으면 LG가 SK이노베이션의 주력 시장 중 하나인 유럽에서도 소송을 제기할 것”이라고 전망한다.
홍대순 글로벌전략정책연구원장은 “양사가 조속한 합의에 실패할 경우, 강력한 정부 지원을 등에 업고 공격적인 해외 수주 활동을 하는 CATL 등 중국 배터리 기업들이 어부지리(漁父之利)를 챙길 가능성이 높다”며 “LG와 SK가 지혜롭게 접점을 찾는 게 중요하다”고 말했다.
이르면 다음주 중 ITC가 SK이노베이션의 패소 사유를 구체적으로 명시한 최종 판결 전문(全文)이 공개되면 양사간의 협상이 어떤 형태로든 시작될 것이라는 관측도 나온다.
한편, 재계에서는 국내 대기업 서열 3위와 4위인 SK와 LG간의 초대형 해외 소송을 통해 그동안 국내에서 간과된 영업비밀의 가치와 중요성이 부각돼 중국 기업으로의 인력 및 기술 유출에 제동이 걸릴 것이라는 분석이 제기되고 있다.
이동통신 기지국 및 중계기용 전력증폭기와 RRH, 무선 통신 시스템의 RF 송신부의 핵심모듈을 공급하는 전문업체.
전방산업은 신규 통신서비스에 따른 수요 외에 기존 시스템에 대한 유지보수 수요가 존재하고 있어 상대적으로 안정적이고 연속적인 수요가 형성되는 강점을 지님.
신규사업으로 OLED 디스플레이 패널 증착용 MASK 및 정밀타격제품의 핵심부품인 유도무기 신호처리장치 등 방산사업 등이 있음.
회사소개
㈜웨이브일렉트로닉스는 1999년 설립 이후 업계에 혁신을 일으켜 왔습니다.
① 무선통신 사업에서는 4차 산업의 핵심 부품인 이동통신 기지국, 중계기용 전력증폭기 및 핵심 모듈을 공급하고 있고 ② 방위 사업에서는 정밀 타격용 유도무기체계의 핵심 부품인 탐색기 및 유도조정 장치 등을 개발 및 공급하고 있으며 ③ 디스플레이 사업에서는 차세대 고해상도 디스플레이(OLED) 구현에 필요한 소모성 핵심 부품을 개발 중에 있습니다.
㈜웨이브일렉트로닉스는 끊임없이 새로운 기술에 도전하고 있으며, 압도적인 기술력을 바탕으로 지속 가능한 성장을 위해 노력할 것입니다.
CEO인사말
대표이사박 천 석
안녕하십니까? 대표이사 박천석입니다.
웨이브일렉트로닉스를 방문해 주신 여러분 반갑습니다.
최근 사업 환경은 기술의 진보 등으로 급변하고 있습니다.
우리 회사는 1999년 설립되어 이동통신산업의 발전과 함께 성장하여 지난 2007년 9월 코스닥 시장의 상장을 이루어냈습니다.
이에 안주하지 않고, 방산사업 및 OLED 등 사업 영역을 다각화 하여 가시적인 성과를 이루어내고 있습니다.
특히 OLED 사업에 있어선 세상에 없는 상상 속 제품을 현실로 만들기 위해 임직원 모두가 끊임없는 혁신을 통해 새로운 기술에 도전하고 있습니다.
그동안 축적한 압도적 기술력을 바탕으로 기술선도 기업으로 자리매김하겠습니다.
새로운 미래를 열어갈 웨이브일렉트로닉스를 함께 응원해 주시기 바랍니다.
감사합니다.
회사연혁
끊임없는 혁신을 통해 새로운 기술에 도전하는㈜웨이브일렉트로닉스
회사비전
VISION
변화와 혁신을 바탕으로 최고의 경쟁력을 확보하여 각 사업에서의 독점적인 지위창출
핵심가치
도전열정도전과 열정을 바탕으로 창의적 사고를 발휘해 깊이 있는 R&D 리더십을 확보한다.
신뢰소통직원, 고객, 주주, 협력사와 신뢰와 소통의 기업문화를 정착시킨다.
역량강화지속적인 자기개발과 혁신적 사고를 통해 능력을 신장시켜 개인과 회사의 경쟁력 강화에 노력한다.
조직구조
기업문화
우리 회사의 강점 ㈜웨이브일렉트로닉스의 기업문화
Communication
㈜웨이브일렉트로닉스가 추구하는 기업이념은 ‘고객을 위한 가치 창조’와 ‘인간존중’이라는 기본 가치관의 달성입니다. 이를 위하여 고객의 니즈를 정확히 파악하고 이를 충족할 수 있는 기술을 바탕으로 고객의 이익을 극대화할 수 있는 가치를 창출함으로써 고객으로부터 확고한 신뢰를 확보하겠습니다. 또한 임직원 개개인의 능력과 가치를 존중하고, 업적과 능력에 따라 공정하게 대우하여 한 사람 한 사람의 창의성이 충분히 발휘될 수 있도록 업무환경을 조성하겠습니다.
Partnership
회사의 가치와 성과는 당사의 직원과 고객, 주주, 그리고 협력관계에 있는 회사들과 함께 성장하고 상생협력을 도모하는 것이 우리 회사가 추구하는 파트너쉽입니다. 항상 고객과 함께 생각하고, 고객과 함께 새로운 가치를 창출할 수 있도록 시내.외 다양한 기술과 제품, 서비스와 경험을 바탕으로 성장하겠습니다. 또한 대한민국 벤처기업으로 자리매김하고, 나아가 해외시장에서 그 가치를 인정받을 수 있는 기업이 될 수 있도록 끊임없이 노력을 지속하겠습니다.
고객사
통신 사업
방산 사업
OLED 사업
사업영역
사업영역을 다각화하는 ㈜웨이브일렉트로닉스
통신 무선기지국, 중계기용 앰프, 필터 등 주요 부품 및 시스템과 IoT 모듈 및 종합 솔루션
방산 정밀 타격용 유도무기체계 핵심부품 (탐색기, 유도조정장치 및 점검장비 등)
OLED 전주도금방식을 이용한 OLED 증착용 마스크 FMM(Fine Metal Mask)
1. 통신사업
AMP 및 FILTER
RF 시스템에 장착되어 Low Power의 RF 신호를 High Power의 RF 신호로 증폭하여 안테나에 공급하는 RF 전력증폭기
LDMOS FET / GaN HEMT을 포함한 증폭용 소자로 증폭기를 구현하고, APD/DPD 등의 선형화기 사용 및 진일보한 DOHERTY 방식 설계 기술을 확보하여 광대역, 고효율의 증폭기 설계 기술을 구현.
정밀 타격용 유도무기체계 핵심부품 탐색기 및 점검장비의 원천기술력으로 다양한 제품을 개발 및 공급하고 있습니다.
사업 개요
㈜웨이브일렉트로닉스는 2015년 방산사업에 진출하여 영상신호처리장치 및 점검장비 개발이란 목적 아래 10년 이상의 경력을 가지고 있는 핵심연구인력들이 끊임없는 연구개발을 통하여 최상의 성능을 제공할 수 있는 선도업체로 자리매김하며, 궁극적으로는 국가방위산업 발전에 기여하고자 합니다.
공급품
영상신호처리장치 분야에서는 다양한 CPU 보드와 Embedded Software를 개발하고 있으며,고성능 대용량 FPGA를 활용하여 영상신호 전처리와 영상압축 기능을 담당하는 영상신호처리기 및 영상신호처리 알고리즘을 개발 공급하고 있습니다. 아울러, 점검장비 분야에서는 각종 방위산업 장치들에 대한 자동화된 점검장비 및 고성능의 디지털 영상수신 장비 등을 개발 공급하고 있습니다.
적용분야
현궁, 해궁, 비궁, 130mm , 각종 점검장비
신규 개발 품목
유도조종장치, BLDC 모터구동 제어보드
주요 생산제품
탐색기용 신호처리장치
유도조종장치
본 제품의 이미지는 “방위산업 기술보호법”에 의거 공개가 불가함을 알려드립니다.
3. OLED사업
전주 도금 방식을 이용한 OLED 증착용 마스크 FMM(Fine Metal Mask) 고해상도 중소형 OLED 디스플레이 패널 구현을 위한 소모성 핵심 부품
동사는 2009년 3월 설립되었으며, 반도체 Wafer의 MI(Overlay Metrology, Inspection) 장비 제조를 주력 사업으로 영위.
동사는 국내외 40여개의 특허를 보유하는 등 다수의 핵심 자체개발 기술을 보유하고 있으며, 2011년 국내 최초로 Overlay 계측 장비 국산화에 성공함.
2020년 9월 기준 매출구성은 OL-800n 63.4%, 기타제품 24.8%, 용역 10.8% 등으로 이루어짐.
회사소개 Company Introduction
CEO message
앞선 기술력으로 해외 업체가 선점한 시장을 개척하겠습니다.
안녕하십니까? 방문해 주신 여러분께 감사 말씀드립니다.
㈜오로스테크놀로지는 2009년 설립되어 반도체 전공정 분야의 계측 장비를 주력으로 생산하는 업체로 2011년 국내 최초로 오버레이 계측장비 양산에 성공하였으며 세계 반도체 시장의 주요 고객사에 공급해 오고 있습니다.
㈜오로스테크놀로지는 전문 평가기관의 기술성 평가에서 우수 등급을 확보하였으며 소부장 강소기업으로 선정됨으로써 계측 장비 분야에서 인정받았습니다. 이러한 선진 기술력을 바탕으로 오버레이 계측장비뿐만 아니라 향후 고객사에게 최상의 솔루션을 제공하기 위해 또 다른 계측 및 검사 장비 기술 개발에 지속적으로 힘쓰고 있습니다.
㈜오로스테크놀로지는 당사 핵심 가치관 중 하나인 창조 및 도전 정신을 바탕으로 세계 어느 곳에서도 그 가치를 인정받는 제품 개발을 통해 해외 업체가 선점한 시장을 개척하고 국내외 반도체 시장에 크게 기여할 것을 약속합니다.
대표 이준우
경영이념
AUROS는 당사의 존재이유인 사명을 기본으로 하여 가슴벅찬 미래상(Vision)을 달성하기 위해 경영에 있어 핵심가치를 실천하고 있습니다.
사업장 소개
Global Office
사업분야 Business Field
1. 웨이퍼 측정
Overlay Metrology
Market Trend
글로벌 오버레이 계측 장비 시장
오버레이 계측 장비 시장 성장 이유
반도체 공정 기술이 발달함에 따라 Overlay Error 계측을 위한 Overlay 제어의 중요성이 커지고 있으며, Overlay 측정 Point 수 증가로 인한 Overlay 장비 수요 증가가 예상됩니다.
Technical
반도체를 제조하기 위해서는 증착(deposition), 노광(Lithography), 식각(Etch)의 공정을 반복하면서 웨이퍼에 순차적으로 패턴을 형성하는 과정을 연속합니다. 이러한 수많은 층(Layer)이 적층될 때 각 패턴이 필요한 위치에 정확히 쌓아져야 불량이 발생하지 않고, 반도체가 정상 동작할 수 있습니다.
노광기를 이용하여 Wafer상에 Pattern을 형성하는 노광(Photo Lithography)공정에서Overlay 측정은 광학 장치를 이용하여 이전 공정의 Pattern과 현재 공정에서 형성된 Pattern이 정확하게 정렬되어 설계대로 연결이 되는지를 측정하는 것입니다.
OL-900n
OL-900n은 AUROS Technology의5세대 Overlay 측정 장비로 정밀한 공정 Control을 위한 성능과 빠른 측정 속도로 고객의 최신 Device 제조기술 수요에 부합하도록 개발되었습니다.
OL-900n은 반도체 메모리(DRAM, NAND)와 로직(Logic)제품의 Overlay측정과 데이터관리를 위한 제품입니다.
정밀한 Pattern Matching Algorithm과 고정밀의 Stage기술은 고성능의 노광 (Lithography) 장비의 공정 능력을 모니터링하여 엔지니어들에게 정확한 피드백을 제공합니다.
Best accuracy & Yield improvement
High precision & Throughput
High resolution pattern recognition
Accurate Overlay control (AOC)
OL-800n
OL-800n은 AUROS Technology의4세대 Overlay 측정 장비로 3세대 장비 대비하여 반복 재현성, 측정 시간, 정확도에서 약 20% 향상된 성능을 보유하고 있으며 AUROS Technology의 기술을 한단계 성숙시킨 중요한 장비입니다.
Best accuracy & Yield improvement
High precision & throughput
High resolution pattern recognition
Accurate Overlay control (AOC)
Process monitoring
Data analysis tool (EUREKA)
Auto Recipe Optimization (ARO) & ARO manager (Recipe converter)
Dual Band Color Filter
Tunable NA
OL-100n
OL-100n은 AUROS Technology의8 inch Overlay 측정 장비로 Legacy Process 수요 증가에 대비하여 자체적으로 개발한 장비입니다. 12inch Overlay 계측 기술을 토대로 개발되어 동종 장비 대비 뛰어난 성능을 갖추었습니다.
Overlay와 CD 측정이 가능하고, 빠른 측정 속도와 사용 편리성을 갖추고 있습니다.
OL-100n은 기존의 6/8인치 오버레이 시장을 포함하여, 현재 폭발적으로 성장하고 있는 화합물 반도체의 오버레이 계측에 이용할 수 있습니다. Si을 이용한 IGBT, MOSFET와 같은 기종의 화합물 반도체(Power devices)뿐만 아니라 전기차 시장을 고려한 SiC, GaN기반의 제품 및 5G에 활용되는 GaAs등의 Substrate를 이용한 제품의 Overlay 측정에 활용할 수 있습니다.
Brand New 6/8” Overlay Metrology System
High Throughput
Window 7 64bit (Memory 16GB)
Low Cost of Ownership (CoO)
Real-time data output
Optical CD Measurement (Resolution ≥ 0.5㎛)
2. 웨이퍼 검사
Wafer Inspection
Market Trend
Wafer Inspection Market
Wafer 검사 시스템은 Device의 품질을 개선하기 위해 생산라인에서 필수 장비입니다. Wafer 검사 시스템은 기술의 발전과 더불어 사물 인터넷(IoT)이 반도체 산업에 도입되면서 역할이 더욱 중요해졌습니다.
Technology
Wafer의 Backside에 발생하는 결함은 Wafer Fab의 기본 수율 손실의 10%를 차지하는 요인입니다. Backside 결함은 Wafer와 공정의 균일성에 큰 영향을 미칠 수 있으며, Wafer Backside는 증착, Etching 및 CMP 를 포함한 모든 공정 단계에서 오염되거나 손상될 수 있습니다. 이는 연간 수천만 달러의 수익 손실을 야기하는 것으로 제조업체는 손실을 복구하기 위해 모든 공정의 필수 단계로 자동화된 비파괴 Wafer Backside 검사를 진행해야만 합니다. Wafer Backside Inspection 장비는 2D 광학계와 Vision Algorithm을 적용하여 Wafer 뒷면의 Scratch 및 Particle 여부를 검사할 수 있습니다.
WBIS-200
WBIS-200은 AUROS Technology의 8inchWafer Backside Scratch 검사 장비로 Wafer의 2D 정보를 한번에 Capture하여 빠른 Throughput과 높은 정확성을 토대로 Wafer Back면을 검사하여 Scratch 및 Particle 발생 여부를 확인하여 Wafer를 monitoring할 수 있습니다.
WBIS-200은 자동화된 비파괴 Wafer Backside 검사로 2D 광학계와 Vision Algorithm을 적용하여 Wafer 뒷면의 Scratch 및 Particle 여부를 검사할 수 있습니다.
장비 생산 정보 System과 연계를 통하여 Scratch Source를 유발한 장비의 추적이 가능하며 (Deep-learning Solution), Scratch 및 Particle 등이 발생한 위치, Size에 대한 정보를 확인할 수 있습니다.
Brand New 8” Backside Inspection System
Windows7 64
Scratch Source 유발 장비 검출 Deep learning Solution
Resolution 50㎛
Throughput : 160wph
3. 패키지 측정
Package Overlay Metrology
Market Trend
글로벌 오버레이 계측 장비 시장
복합 Chip 소형화에 따른 측정 검사 장비 수요 증가
반도체 공정 기술이 발달함에 따라 Overlay Error 계측을 위한 Overlay 제어의 중요성이 커지고 있으며, Overlay 측정 Point 수 증가로 인한 Overlay 장비 수요 증가가 예상됩니다.
Technology
최근 각광받고 있는 TSV Process 중 Lithography는 Device 성능과 수율에 영향을 미치는 중요한 공정입니다. 마지막 Patterning을 통해 back-to front Overlay 정렬이 반드시 필요합니다. TSV는 기존 Wire Bonding을 대체하는 기술로 칩에 미세한 구멍(Via)을 뚫어 상단 칩과 하단 칩을 전극으로 연결하는 Packaging 기술입니다. Chip을 적층(Stack)하고 추가 공간을 요구하지 않아 기존 Wire Bonding 대비 속도와 소비전력, 면적 면에서 큰 개선이 가능합니다. 각 다이(Die)를 층층이 쌓는 적층 구조의 반도체에서 다이(Die)들은 수천, 수만개의 μ(Micro)-Bump 로 서로 연결(interconnect)됩니다. 이 연결이 잘못되면 반도체가 제 성능을 내지 못하고, 적층 구조라 불량이 생기면 버려야 하는 칩은 이전의 수 배에 달하게 됩니다. 이에 대한 정렬 확인은 필수적인 공정이 되고 있습니다.
OL-300nw
OL-300nw은 AUROS Technology의Wafer Level Package Overlay 측정 장비로 높은 정확성과 반복 정밀도를 구현하고 패키지공정에서 발생할 수 있는 웨이퍼의 형태와 표면의 변화에 대응하여 정밀한 측정을 수행하도록 최적화된 제품입니다.
OL-300nw은 일반적인 범프 형성 공정 뿐만 아니라, 메모리의 수직적층(HBM)시 TSV및 마이크로 범프를 이용하여 상하간의 전기적 연결을 완성하는데, 이때 하부 패턴과 범프 패턴의 정렬(Overlay)과 크기(CD)를 측정하는데 활용될 수 있습니다.
High Precision & High Throughput
Real cell & Overlay Key Measurement
Data analysis tool (EUREKA)
Data analysis and management
300mm(12”) automation compatible
4. 패키지 검사
Package Inspection
Market Trend
Advanced Package Market
Advanced Package는 반도체 고성능화와 슬림화에 대응하여, TSV기술 등을 이용한 칩의 3D stacking과 Fan-Out 기술 등을 이용한 칩의 다기능(heterogeneous)화를 구현합니다. 스마트폰과 네트워크, 자율주행, IoT와 디지털 기술 혁명 (AI, 5G, Cloud…)에 따른 다양한 요구에 대응하는 반도체 칩의 제조에 활용하며 Advanced Packaging 시장은 매년 급속도로 성장하고 있습니다. 특히 Fan-OUT 기술은 Chip크기와 무관하게 multi-chip 및 3D Packaging solution을 가능케하는 advantages가 있는 기술로 폭발적인 성장세를 예상합니다.
Technology
반도체 칩을 횡으로 배열하여 이종의 칩을 하나의 패키지로 구성하거나(Fan-Out), 종으로 적층하여 대용량 칩 (High Bandwidth Memory)을 좁은 면적에 하나의 패키지로 구현할 수 있습니다. 이를 위해서는 다양한 재료를 이용한 공정 과정을 거치는데, 각 재료 간의 접합의 불균형에 의해서 발생되는 delamination과 같은 미세한 topography성 불량은 후속 공정에 불량을 유발할 수 있기 때문에 반드시 검출되어져야 하고, 이와 함께 웨이퍼의 전/후면에 있는 Particle에 대한 monitoring이 필요합니다.
Under study
AUROS Technology의 12inch Wafer Level Package 검사 장비를 개발 중입니다.
검사 시 웨이퍼의 이동없이 대면적 영상을 촬영함으로서 검출 속도를 높였고, 깊은 초점 심도(DOF)특성을 통해 Z축의 이동없이, 웨이퍼의 휨이 심한, 패키지공정의 표면 검사에 적합한 장비입니다. 일반 웨이퍼 공정 뿐만 아니라 패키지 공정에서 발생되는 다양한 표면 형상의 측정을 목표하고 있습니다.
FAN OUT WLP, TSV를 이용한 Package(HBM)와 Compound Devices(SiC, GaN, Si)의 공정 변화를 측정할 수 있습니다. 현재 개발 평가를 진행하고 있으며 양산 시점은 22년 4Q를 예상합니다.
